氦檢漏儀是一種用于檢測氣體泄漏程度的儀器，它可以快速、準確地測量出漏氣量。其工作原理是利用電化學效應，將氦氣中的水分子分解成氫氣和氧氣，然后檢測氫氣的濃度變化，以計算出氣體泄漏量。在工作時，氦檢漏儀會將氦氣充入測量現場，然后通過一個電極將氦氣中的水分子電化學分解成氫氣和氧氣，測量現場的氫氣濃度會隨著氣體泄漏量的變化而變化。當氫氣濃度超過一定的限度時，氦檢漏儀會發出警報，以提醒操作人員。

　　氦檢漏儀其內部結構主要由以下幾個核心模塊組成：

　　1.質譜室（核心檢測單元）

　　質譜室是儀器的“心臟”，負責將氣體電離并分離出氦氣分子。它通常由離子源、分析器、收集器和冷陰極電離規組成。其工作原理是：燈絲發射出的電子在室內來回振蕩，與經漏孔進入的氦氣碰撞使其電離成正離子；這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，受洛倫茲力作用產生偏轉形成圓弧形軌道；通過改變加速電壓，可使特定質量的氦離子通過磁場和接收縫到達接收極，從而被檢測。

　　2.真空抽氣系統

　　真空系統負責為質譜室提供必要的高真空環境，并排出廢氣，通常由多級泵組協同工作：

　　渦輪分子泵（主泵）：用于提供高真空狀態，確保氦離子在飛行過程中不受干擾。

　　前級泵（初級泵）：負責將系統從大氣壓抽至低真空，并排出氣體。現代檢漏儀常采用無油渦旋干泵（Dry Scroll Pump）或機械旋片泵，以避免泵油污染被檢部件和系統。

　　3.氣體處理與通路切換系統

　　該系統負責引導氣體進入檢測單元，并適應不同的檢漏模式。它主要包括：

　　接口與配管：設有供安裝測試體的第1接口，以及供安裝配管的第2接口（經由節流體/毛細管將室內的氦氣測定區域的氣體導入分析管）。

　　通路切換部：通過控制閥（如電磁閥）的切換，決定將來自第1接口（測試體）還是第2接口（室內環境）的氣體導入分析管，從而實現“泄漏測定模式”與“室內測定模式”的切換。

　　4.電子控制與電氣系統

　　這是儀器的“大腦”，負責整機的運行控制、信號處理與人機交互：

　　控制部（CPU等）：負責控制燈絲電流、磁場強度、閥門開關等，運行控制算法并進行信號濾波、量程自動切換。例如，控制部在啟動時設定室內測定模式，并在分析管測定結果低于可靠性閾值時允許切換至泄漏測定模式。

　　放大器與質譜專用模塊：將收集器產生的微弱電流信號進行放大處理，并進行數據轉換。

　　人機交互界面：通常配備液晶觸摸屏（如8.4英寸工業觸摸屏），支持180°旋轉，用于參數設置、數據顯示（如泄漏率、壓力曲線）及結果輸出。

　　通訊接口：支持模擬輸出、串行通信等，便于將檢漏數據輸出或與外部設備聯動。

　　5.輔助與外圍組件

　　內置標準漏口：用于定期對儀器進行內部或外部靈敏度校準，確保檢測精度。

　　氦氣供給系統：包括氦氣瓶、減壓閥、流量控制器、氦氣噴槍（吸槍）或氦氣罩等，用于向檢測部位提供穩定的示蹤氣體。

　　指示與報告部：包括指示通路切換部切換的指示部，以及用于提醒操作員切換模式或報警的報告部。