半導體廠務系統介紹
【無錫水處理設備http://www.haojiasi.com】Cleanroom System [ 潔凈室系統]
a,內裝修工程:(高架地板工程、潔凈室隔墻板系統、鋁合金龍骨吊頂/ceiling grid、無塵涂裝、環氧地坪等)、壓差控制系統、ESD防靜電等;
b,循環空調系統:(包括部分供熱與通風系統,比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高過濾器、化學過濾器etc.、送氣風機、排氣風機etc.); c,FOUNDATION:防震機座、粉塵監測智能系統/DMS系統、風淋室、傳遞窗、層流罩、潔凈工作臺、潔凈洗手器、潔凈衣架、潔凈電梯、正壓潔凈樓梯間系統、化學品儲存冷庫和壓縮機etc.
Mechanical System [ 機械系統]
中央動力,Central utility:Mechenical(熱水、冷凍水、軟水、工藝設備冷卻水PCW、生產上水、自來水﹑飲用水、一般蒸汽和潔凈蒸汽等管路供應系統;鍋爐、冷凍機、冷卻塔、空壓機等廠務設施)
Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊氣體和大宗氣體]
a,Bulk Gas:GAS YARD氣站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/天然氣)【包括普通和超純/精制氣體】,壓縮空氣(CDA)--有些FAB還將機臺用CDA和廠務設備用CDA 供應系統分開,呼吸空氣供應系統等;
b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭):
(1)易燃性氣體(Flammable Gas)
(2)毒性氣體(Toxic Gas)
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas)
(4)惰性氣體(Inert Gas)
(5)氧化性氣體(Oxide Gas)
(6)低壓/保溫氣體(Heat G as)
Water Treatment System [ 水處理系統]
a,超純水供應系統、熱/溫純水供應系統、一次純水(RO水)供應系統etc.
b,工藝廢水處理(酸、堿、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、溫排水、純水回收、一般排水、TMAH顯影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. )
c,辦公用給排水系統:飲用水供應、自來水供應、生活污水處理、雨水排放系統etc
Exhaust System[工藝排氣系統]
a,工廠SCRUBBER:酸、堿、有機VOC、粉塵、一般排氣etc.[有些FAB還包括了緊急排煙/事故排風系統]
b,LOCAL SCRUBBER(一般附屬于工藝設備):依其原理大概可分成下列幾類(1)電熱水洗式; (2)燃燒水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。
Chemical Dispensing System[化學品供應系統]
包括化學品供應系統和化學品回收系統,具體使用的化學品種類根據每個FAB 產品的不同而不同:
a,Chemical Dispensing System化學品供應系統
酸性
堿性
有機溶劑
氧化腐蝕性
b,化學品回收系統:光刻膠resist、STRIPPER剝離液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、異丙醇、硫酸廢液、硫酸銅廢液回收等
Vacuum System [ 真空系統]
真空系統包括工藝真空(Process Vacuum )、真空吸塵(Hose Vacuum)或者清掃用真空、設備真空Pumping-line/vent系統/Pumping-Exhaust系統。
Power Supply & Automation System [ 電力供應及自動化]
a,強電:高低壓供電(包括中央變電站和各終端變電站)、ups電源供應系統(蓄電池組)、緊急柴油發電機系統、SSTS高速切換開關、VSS電容補償系統等、各類配電盤、照明(包括tear drop淚滴型照明燈具、黃光燈)、插座;
b,弱電:各類動力、EHS方面的自控部分(包括各類弱電盤面)、FMCS廠務監控系統(包括各sub-scada系統),【監控方面還有氣體監控系統(GMS)、氣體偵測系統(GDS)、有的廠是GMS+GDS=FMCS、有的廠GMS和GDS會分開來的】、各類電氣接地、靜電防護系統etc.
Construction [ 建筑結構]
建筑結構相關(包含廠房維修),主要分為建筑和結構兩大塊(有些FAB將EHS 相關的防火門、逃生門、緊急疏散口、擋煙垂臂、升降平臺etc.也歸入此類)
EHS System Control [ 環境健康安全]
EHS涉及環境保護(污染物控制【三廢處理等】、有害物質控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】)、健康(職業衛生)、工業安全、能源、治安保衛、ERC(ERT應急響應等)、風險管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】,EHS其它等。
硬件涉及:消火栓設備、噴淋系統、漏液檢測系統、門禁系統、電話廣播系統、PHS系統、緊急對講機系統,感溫電纜報警系統、vesda、煙感熱感探頭、閉路電視系統/CCTV監視攝像頭、消防與觀光電梯、地震監控系統、SCBA呼吸面具、緊急沖淋、各類滅火器、PPE個人防護用具etc.
Energy Saving[廠務節能]
涵蓋所有廠務系統的節能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等。
純水設備， 無錫純水設備,無錫水處理設備，無錫去離子水設備, 醫用GMP純化水設備。
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